Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров

Автореферат

Автор: Залозный, Александр Николаевич

Название: Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров

Справка: Залозный, Александр Николаевич. Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 / Залозный Александр Николаевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т] Ставрополь, 2011 23 c. : 9 11-6/1604

Объем: 23 стр.

Информация: Ставрополь, 2011