Диссертация

Автор: Амиров, Ильдар Искандерович

Название: Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств

Справка: Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН] Москва, 2010 300 c. : 71 11-1/167

Объем: 300 стр.

Информация: Москва, 2010